지난 포스트에서 포토 공정에서 해상도가 좋으면 좋을수록 (= 패턴의 크기가 작으면 작을수록) 웨이퍼 1 매 당 팔 수 있는 CHIP의 개수가 많아진다고 했었다. 해상도와 단가 간 관계 광원 파장의 발전 순서 잘 암기해 봅시다. 직무면접에서 가끔 물어봐요. 광원 파장의 발전 순서 G-라인(436nm) → I-라인(365nm) → KrF(243nm) → ArF(193nm) → I-ArF(134nm)→ EUV(13.5nm) 최근까지는 UV(자외선) 영역의 파장이 사용되어 왔다. KrF와 ArF는 Deep UV라고 한다. (= DUV) ※ 파장의 순서와 nm는 외워두는 게 좋다. 직무 면접에서 물어보기 때문에 짧은 파장의 광원을 만드는 원리는 다음과 같다. 어떤 원소에 에너지를 가하면, 전자가 들..
